デュアル

基本情報

製品説明

デュアルターゲットDCマグネトロンスパッタリングコータは、当社が独自に開発したコストパフォーマンスに優れたマグネトロンスパッタリング成膜装置です。 標準化されており、モジュール化されており、カスタマイズ可能です。 1 インチまたは 2 インチのマグネトロン ターゲットを選択できます。 塗布する基板のサイズに応じてターゲットをお選びいただけます。 このデバイスには 2 つの 500W DC 電源が装備されています。 直流電源を使用して金属膜の作製が可能です。 2 つのターゲットは、多層または複数のコーティングのニーズを満たすことができます。
塗装機には2チャンネル高精度質量流量計が装備されています。 他の要件がある場合は、複雑なガス環境の構築要件を満たすために、最大 4 チャンネルの質量流量計のガス経路をカスタマイズできます。 この機器には高度なターボ分子ポンプ セットが装備されており、到達真空度は最大 1.0E-5Pa であり、他のタイプの分子ポンプも購入可能です。 分子ポンプのガス経路は複数の電磁弁によって制御されており、ポンプを停止することなくチャンバーを開けてサンプルを取り出すことができ、作業効率が大幅に向上します。 この製品には、システムを制御するための統合産業用コンピュータを装備できます。 真空ポンプ制御やスパッタリングパワー制御などほとんどの機能をコンピュータプログラム上で実現することができ、実験効率をさらに向上させることができます。